发明名称 METHOD OF MAKING OPTICAL REPLICAS BY STAMPING IN PHOTORESIST AND REPLICAS FORMED THEREBY
摘要
申请公布号 EP1110124(B1) 申请公布日期 2008.12.17
申请号 EP19990933617 申请日期 1999.06.30
申请人 TESSERA NORTH AMERICA, INC. 发明人 SULESKI, THOMAS J.;FELDMAN, MICHAEL R.;HARDEN, BRIAN
分类号 G03F7/00 主分类号 G03F7/00
代理机构 代理人
主权项
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