浸润微影系统、用于图案化半导体积体电路之浸润微影方法

摘要

本发明提供一种浸润微影系统，该系统包括：一影像镜头，具有一第一前表面；一基板底座，置于该影像镜头之前表面下方；一浸润流体保持结构，具有一个流体入口与一个流体出口，且用以保留来自一流体入口之一流体，以至少部分地填充位于影像镜头之前表面与基板底座上之基板之间的一空间，且使该流体由该流体出口流出；以及一微粒监控模组，与该浸润流体保持结构整合。