电浆处理装置

摘要

本发明之课题提供一种针对使用电浆之处理容器内，可防止多余附着膜堆积的电浆处理装置。本发明之解决手段电浆处理装置32，具备：具有被开口之天花板部54a、侧壁34a、底部34b，而内部可抽真空的处理容器34；和为了放置被处理体W而设置于上述处理容器34内的放置台36；和气密性装配于上述天花板部54a，由透过微波之介电质所构成的天花板54；和设置于天花板54上面，用以将微波导入处理容器内的平面天线构件58；和对平面天线构件供给微波的微波供给手段60；和对处理容器34内导入必要之处理气体的气体导入手段44。处理容器34内，对应容易堆积多余之附着膜的部分，系设置从天花板54延伸之介电质制的膜附着防止手段78。膜附着防止手段78系由棒状构件104所构成。