OPTIMISATION DE LA FREQUENCE D'EXCITATION D'UN RESONATEUR

摘要

L'invention concerne un dispositif d'alimentation d'un générateur de plasma radiofréquence, comprenant :- un module d'alimentation (2) appliquant sur une interface de sortie une tension à une fréquence de consigne, cette tension étant sélectivement inapte à permettre la génération de plasma du résonateur lors de la réception d'une requête de détermination d'une fréquence de commande optimale ou apte à permettre la génération de plasma du résonateur ;- une interface de réception d'une mesure électrique de l'alimentation du résonateur ;- un module (7) déterminant la fréquence de commande optimale, fournissant successivement différentes fréquences de consigne au module d'alimentation (2) lors de la réception d'une requête, et déterminant une fréquence de commande optimale en fonction de la mesure électrique.