| 发明名称 | 使用高阶离轴对准信号确定对准位置的方法 | ||
| 摘要 | 一种使用高阶离轴对准信号确定对准位置的方法，包括如下步骤：(a)在扫描过程中使用光电传感器进行信号测量，得到多级次信号；(b)校正各级次信号间的相位偏移；(c)确定各级次信号的对准位置；(d)根据各级次信号的对准位置确定最终对准位置。本发明在确定对准位置时使用了高阶对准信号，通过计算各级次信号的对准位置来确定最终的对准位置，大大提高对准位置的计算精度。 | ||
| 申请公布号 | CN1779572A | 申请公布日期 | 2006.05.31 |
| 申请号 | CN200510030577.8 | 申请日期 | 2005.10.14 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 孔正国 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01);H01L21/027(2006.01) | 主分类号 | G03F7/20(2006.01) |
| 代理机构 | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人 | 王洁 |
| 主权项 | 1、一种使用高阶离轴对准信号确定对准位置的方法，其特征在于包括如下步骤：(a)在扫描过程中使用光电传感器进行信号测量，得到多级次信号；(b)校正各级次信号间的相位偏移；(c)确定各级次信号的对准位置；(d)根据各级次信号的对准位置确定最终对准位置。 | ||
| 地址 | 201203上海市张江高科技园区张东路1525号 | ||