波长可变光滤光片及其之制造方法

摘要

〔课题〕以高精密度形成静电间隙，并以较低驱动电压加以驱动，来防止制造时及使用时之黏着(sticking)。〔解决手段〕本发明之波长可变光滤光片是相互接合：形成于上面之高反射膜23，支撑上下移动自如之可动体21a之可动部2，和形成与可动体21a间隔静电间隙EG而对向之驱动电极12之驱动电极部1，和形成与高反射膜23间隔光学间隙OG而对向之高反射膜32之光学间隙部3，而加以构成。