| 发明名称 |
MANUFACTURING PROCESS FOR A MULTILAYER STRUCTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1568073(A1) |
申请公布日期 |
2005.08.31 |
| 申请号 |
EP20030789590 |
申请日期 |
2003.12.05 |
| 申请人 |
S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES |
发明人 |
MAZURE, CARLOS |
| 分类号 |
H01L21/20;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/20 |
主分类号 |
H01L21/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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