最适化之极化照明

摘要

本发明所揭示之概念包括一种用于最适化一待形成于一基板表面中之图案的照明之极化的方法。极化照明系藉由以下方法得以最适化：关于至少两种极化状态判定一照明器上至少一点之照明强度；关于该等至少两种极化状态判定该照明器上该至少一点之影像对数斜率；判定该照明器上该至少一点之一最大影像对数斜率(ILS)，其中该ILS接近零；及选择最小化该照明器上该至少一点之ILS的对应于该等至少两种极化状态之最适化极化状态。此方法可对照明器上复数个点重复。