| 主权项 |
1.一种光阻组成物,包含100份重量硷溶性丙烯酸基共聚物、5-100份重量1,2-叠氮化合物、2-35份重量含氮交联剂和0.1-10份重量藉由热量产生一酸之热酸发生剂。2.如申请专利范围第1项之光阻组成物,其中该硷溶性丙烯酸基共聚物具有转换成聚苯乙烯时在5x103-3x104范围中之重量平均分子量(Mw)。3.如申请专利范围第1项之光阻组成物,其中该硷溶性丙烯酸基共聚物是在具有聚合起始剂之溶剂中,藉由5-40%重量之不饱和碳酸、不饱和碳酸酐或其混合物、10-70%重量之含环氧官能基不饱和化合物和10-70%重量之不饱和烯烃化合物共聚合而制成。4.如申请专利范围第1项之光阻组成物,其中该1,2-叠氮化合物是在一硷存在下,藉由叠氮磺酸卤素化合物与酚化合物反应制成。5.如申请专利范围第4项之光阻组成物,其中该叠氮磺酸卤素化合物与该酚化合物之间的该反应之酯化程度是在50-85%范围中。6.如申请专利范围第1项之光阻组成物,其中该1,2-叠氮化合物是至少一种由1,2-叠氮-4-磺酸酯、1,2-叠氮-5-磺酸酯和1,2-叠氮-6-磺酸酯组成之群组选出者。7.如申请专利范围第1项之光阻组成物,其中含氮交联剂是至少一种由藉由尿素和甲醛之缩合产物与醇反应制备的甲醇基尿素烷基醚,与藉由蜜胺和甲醛之缩合产物与醇反应制备的甲醇基蜜胺烷基醚组成之群组选出者。8.如申请专利范围第7项之光阻组成物,其中该甲醇基尿素烷基醚包含单甲基尿素甲基醚和二甲基尿素甲基醚,而且甲醇基蜜胺烷基醚该包括六甲醇基蜜胺六甲基醚和六甲醇基蜜胺六丁基醚。9.如申请专利范围第1项之光阻组成物,其中该热酸发生剂包括磺酸酯化合物。10.如申请专利范围第9项之光阻组成物,其中该热酸发生剂是至少一种由环己烷基甲苯磺酸酯、环己烷基丙烷磺酸酯、环己烷基甲烷磺酸酯、环己烷基辛烷磺酸酯和环己烷基樟脑磺酸酯组成之群组选出者。11.如申请专利范围第10项之光阻组成物,进一步包含以100份重量该硷溶性丙烯酸基共聚物为基础,50份重量或更少之具有不饱和键可合成的化合物、以100份重量之该光阻组成物的固形份含量为基础,2份重量的界面活性剂和一接着剂。12.如申请专利范围第1项之光阻组成物,其中该光阻组成物的固形物浓度是在30-70%范围中。13.一种形成一图案的方法,包含该些步骤:将光阻组成物涂布在基材上并乾燥,以形成一光阻层;藉由使用具有预定形状的光罩曝光该光阻层;藉由使用水性硷溶液显影该曝光光阻层,以形成一个光阻图案;和加热该光阻图案以使其固化,其中该光阻组成物包含100份重量的硷溶性丙烯酸基共聚物、5-100份重量的1,2-叠氮化合物、2-35份重量含氮交联剂和0.1-10份重量藉由热量产生酸的热酸发生剂。14.如申请专利范围第13项之方法,其中该加热是在100℃至250℃的温度范围进行。15.如申请专利范围第13项之方法,其中该光阻图案是一液晶显示装置的凸起图案。图式简单说明:第1A和1B图是使用传统的光阻组成物形成一凸起图案时,显影之后(第1A图)和热固化之后(第1B图)所获得之图案的截面图;第2A和2B图说明在用于本发明之该光阻组成物的热固化程序期间热酸发生剂的反应机制;第3A-3C图是说明一种使用本发明之该光组组成物形成一图案的方法之示意截面图;和第4A和4B图是使用本发明之该光阻组成物形成一凸起图案时,显影之后(第1A图)和热固化之后(第1B图)所获得之图案的截面图。 |
