发明名称 Verfahren zur Herstellung einer MIS-Struktur auf Siliziumkarbid (SiC)
摘要
申请公布号 DE59711968(D1) 申请公布日期 2004.11.04
申请号 DE19975011968 申请日期 1997.07.03
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 SCHOERNER, DR.;FRIEDRICHS, PETER
分类号 H01L21/28;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
地址