| 主权项 |
1.一种基板气浮式载台之结构改良,其主要系设置 有一台体,于台体顶面中央凹设形成有一凹部,而 于台体顶面周缘形成有一承托缘,又于台体上设置 有多数个与凹部连通的真空抽孔及注气孔,并设置 有一与各真空抽孔连通的一真空泵浦,以及一与各 注气孔连接的注气泵浦,另外于台体底部设置有一 可相对台体昇降移动的昇降机构,于昇降机构上设 置有多数个贯穿台体的顶针,而于台体上则设置有 多数个贯穿承托缘,而供各顶针由其中贯穿的顶针 孔。2.如申请专利范围第1项所述的基板气浮式载 台之结构改良,其中于台体上设置有多数个贯穿至 承托缘顶面的真空抽孔,并且各位于承托缘上的真 空抽孔系与真空泵浦及注气泵浦同时连接。3.如 申请专利范围第1项所述的基板气浮式载台之结构 改良,其载台另包含有一与台体上凹部连通的气压 感测器。4.如申请专利范围第1项所述的基板气浮 式载台之结构改良,其中载台上的凹部系贯穿台体 ,而于载台底部固设有一用以封闭凹部的透光板, 并于载台之承托缘与透光板上分别设置有多数个 可供顶针贯穿其中的顶针孔。5.如申请专利范围 第4项所述的基板气浮式载台之结构改良,其中于 载台之承托缘顶面周缘凸设形成有一护缘。6.如 申请专利范围第4项所述的基板气浮式载台之结构 改良,其中与凹部连通的真空抽孔及注气孔系于台 体横向贯穿承托缘而与凹部连通。7.如申请专利 范围第6项所述的基板气浮式载台之结构改良,其 中于台体上另设置有数个贯穿至承托缘顶面的真 空抽孔,并各贯穿承托缘顶面的真空抽孔系同时与 真空泵浦与注气泵浦相连通。8.如申请专利范围 第1项所述的基板气浮式载台之结构改良,其中凹 部系未贯穿台体,而各真空抽孔及注气孔系由载台 底缘纵向延伸而与凹部连通。图式简单说明: 第一图:系本创作之上视示意图。 第二图:系本创作之剖面示意图。 第三图:系本创作操作时之剖面示意图。 第四图:系本创作另一实施例之剖面示意图。 第五图:系习用气浮式载台之剖面示意图。 第六图:系习用载台操作实施之剖面示意图。 第七图:系工作脱离习用载台时产生静电之剖面示 意图。 |
