光学单元、照明光学装置、曝光装置、曝光方法、以及元件制造方法

摘要

光学单元，其具备：第1光路，系可配置具有二维排列并可个别控制之复数个光学元件的空间调变元件；第2光路，具有供于表面具有既定固定图案之角度分布赋予元件插入的机构；以及第3光路，系经过该第1光路及该第2光路之两者之光的光路。在角度分布赋予元件插入该第2光路时，系根据射入该角度分布赋予元件之光对射出之光赋予角度分布。