Aparelho de microondas para manter um plasma substancialmente uniforme sobre uma área relativamente grande

摘要

''APARELHO DE MICROONDAS PARA MANTER UM PLASMA SUBSTANCIALMENTE UNIFORME SOBRE UMA áREA RELATIVAMENTE GRANDE''. Um aparelho de microondas para manter um plasma substancialmente uniforme sobre uma área relativamente grande. O aparelho de microondas compreende um vaso de vácuo para manter o plasma em uma sua região de plasma. O aparelho ainda compreende um aplicador de microondas não evanescente que tem dispositivo para controlar sua freq³ência de corte. O aplicador de microondas pode compreender uma guia de onda e um volume de material de elétrico colocado dentro da guia de onda. Alternativamente, o aplicador de microondas pode compreender uma guia de onde de crista.