| 发明名称 |
EVALUATING METHOD AND DEVICE FOR SUBSTRATE HEAT TREATMENT EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11307606(A) |
申请公布日期 |
1999.11.05 |
| 申请号 |
JP19980109122 |
申请日期 |
1998.04.20 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
HISAI AKIHIRO;MATSUNAGA SANENOBU;KOBAYASHI HIROSHI |
| 分类号 |
H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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