发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11176959(A) 申请公布日期 1999.07.02
申请号 JP19970338924 申请日期 1997.12.09
申请人 SONY CORP 发明人 MATSUNO TOMOYUKI
分类号 H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
地址