Verfahren zur selektiven Bestimmung von Größen zur kontinuierlichen ortsauflösenden Überprüfung von oberflächennahen Materialparametern für die Fertigungskontrolle sowie Anordnung zur Durchführung des Verfahrens
摘要
申请公布号
DE4333830(C2)
申请公布日期
1997.11.27
申请号
DE19934333830
申请日期
1993.09.30
申请人
INSTITUT FUER MASCHINEN, ANTRIEBE UND ELEKTRONISCHE GERAETETECHNIK GGMBH - IMG, 99734 NORDHAUSEN, DE
