发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH0974184(A) 申请公布日期 1997.03.18
申请号 JP19950230010 申请日期 1995.09.07
申请人 DENSO CORP 发明人 YAMAUCHI SHOICHI;HASEBE YUJI
分类号 H01L21/3205;H01L23/52;H01L29/32;(IPC1-7):H01L29/32;H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
地址