| 主权项 |
1. 一种含硷性光阻材料汽提组成物,其包含50%至98 重量 %具溶解度参数8至15之汽提溶剂,1%至50重量%的亲核 性 胺和还原剂,其量应在该汽提组成物用以自含金属 的基片 上剥除硬化或交联光阻材料时能有效抑制或减少 金属腐蚀 ,该还原剂选自抗坏血酸(维生素C),不饱和酮, 酸和 四咪唑, 和其衍生物(选自化学式R@su4-NH-NH@ss2者, 其中R@su4是氢或选自甲醯基,烷基,氧羰基,羟烷基, 烷羧基或芳基的有机基), (选自水杨醛 和丙酮 )、 2 ,3,5,6-四氢-6-苯咪唑基[2,1-b]唑和其氢氯化物( 盐酸盐),对苯二酚、五倍子酸,2,4,5-三-羟基丁醯苯 ,3,5-二-第三-丁基-4-羟基甲苯,3-第三-丁基-4-羟苯 甲醚,2,6-二-第三-丁基-4-羟基甲酚,生育酚(维生素E ),6-羟基-2,5,7,8-四甲基色满( )-2-羧酸、硫醇( 选自具化学式R@su5SH的化合物,其中R@su5是选自杂环 , 羧芳基,二羧烷基,胺基取代羧烷基或具化学式 的基(其中R@su6和R@su7是烷基)之有机基),醛及其 衍生物(选自水杨醛,4-羟基苯(甲)醛和乙二醇醛二 烷基 缩醛,以及其中上述所提化合物中的烷基是具有1 到12个 碳原子之烷基),其中重量百分比皆以汽提组成物 的重量 为基准。2. 根据申请专利范围第1项的含硷性光阻 材料汽提组成物 ,其中不饱和酮还原剂系选自1-环己烯基丙酮及3- 壬烯-2 -酮, 还原剂系选自,对-甲苯 基醯 ,甲醯 ,顺丁 基二酸醯 , 水合物,羟乙基 ,苯 , 基甲酸第三 丁基酯及 基甲酸乙酯,硫醇还原剂系选自2-氢硫基 -4[ 3H]唑,十二烷氢硫基丙酸酯,硫水杨酸,氢硫基 丁 二酸,半胱氨酸及2-氢硫基苯骈 唑。3. 根据申请专 利范围第1项的含硷性光光阻材料汽提组成 物,其中还原剂的存在量是占汽提组成物的0.1%到10 重量 %。4. 根据申请专利范围第3项的含硷性光光阻材 料汽提组成 物,其中汽提溶剂包含一或多种溶剂,其选自;过氢 化2- 咯烷酮,1-甲基2- 咯烷酮,1-乙基2- 咯烷酮,1-丙 基2- 咯烷酮,1-羟乙基2- 咯烷酮,1-羟丙基2- 咯烷 酮、正-环己基 咯烷酮,具化学式HO(CH@ss2CH@ss2-O-) xR(其中R是具1到4个碳原子的烷基而x是2或3)之三或 二乙 二醇单烷基醚,含硫氧化物的化合物,其选自具化 学式 (其中R@su1和R@su2为1至4个碳原子 的烷基) 之二烷基 ,二甲亚 ;具化学式 (其中R@su3是氢,甲基或乙基)之1,1-二氧化四氢吩 化 合物,四亚甲基 ,甲基四亚甲基 和乙基四亚甲基 , 聚乙二醇,二甲基乙醯胺或二甲基甲醯胺,胺类是 选自亲 核性胺类,1-胺基-2-丙醇,1-胺基-3-丙醇,2-(2-胺乙 氧基)乙醇,2-胺基-乙醇,2-(2-胺乙胺基)乙醇,2-(2- 胺乙胺基)乙胺和1-(2-胺乙基六氢 )。5. 根据申请 专利范围第3项的含硷性光阻材料汽提组成物 ,其中溶剂包含1-甲基2- 咯烷酮,胺包含1-胺基-2-丙 醇或2-胺基乙醇,而还原剂包含硫水杨酸或抗坏血 酸(维 生素C)。6. 一种从含金属之基片上汽提交联或硬 化光阻材料树脂 的方法,其改良之处包括使用根据申请专利范围第 1到5项 中任何一项的光阻材料汽提组成物做为该光阻材 料汽提组 |
