| 发明名称 |
ANORDNING OCH FOERFARANDE FOER ATT RIKTA IN FIGURER AV TUNNFILMSSTRUKTUR. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FI82845(B) |
申请公布日期 |
1991.01.15 |
| 申请号 |
FI19860004307 |
申请日期 |
1986.10.23 |
| 申请人 |
GTE PRODUCTS CORPORATION |
发明人 |
BOUDREAU, ROBERT A.;WILKIE, ROBERT J. |
| 分类号 |
G09F9/00;C23C14/04;C23C16/04;H01L21/68;(IPC1-7):C23C14/04 |
主分类号 |
G09F9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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