| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND APPARATUS FOR REMOVING FOREIGN SUBSTANCE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02209729(A) |
申请公布日期 |
1990.08.21 |
| 申请号 |
JP19890030552 |
申请日期 |
1989.02.09 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
MORITA KIYOYUKI |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/3205;H01L23/52 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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