发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH01120848(A) 申请公布日期 1989.05.12
申请号 JP19870279653 申请日期 1987.11.05
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 NAKATANI HIROSHI
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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