发明名称 TESTING METHOD FOR SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPS6410183(A) 申请公布日期 1989.01.13
申请号 JP19870165800 申请日期 1987.07.02
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KUBOSAWA HAJIME
分类号 H01L21/66;G01R31/28;G01R31/317 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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