发明名称 APPARATUS FOR CALIBRATING A CAPACITANCE HEIGHT GAUGE
摘要
申请公布号 GB2178172(A) 申请公布日期 1987.02.04
申请号 GB19860021084 申请日期 1986.09.01
申请人 * CONTROL DATA CORPORATION 发明人 JOHN RICHARD * SHAMBROOM;ALAN PAUL * SLISKI
分类号 G01B3/00;G01B7/06;G01B7/14;G01B11/14;G01B21/16;G03F9/00;G03F9/02;H01J37/304;(IPC1-7):G01B7/14;G05D3/10 主分类号 G01B3/00
代理机构 代理人
主权项
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