发明名称
摘要
申请公布号 JPS5343025(B2) 申请公布日期 1978.11.16
申请号 JP19760140915 申请日期 1976.11.24
申请人 发明人
分类号 G01R31/26;H01L21/66;H01L29/76;H01L29/78 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
地址