| 发明名称 | ITO镀膜玻璃偏心轴旋转的平面磁控溅射装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种ITO镀膜玻璃偏心轴旋转的平面磁控溅射装置，其特征在于：它包括：ITO靶材(2)、无氧铜板(3)、永久磁铁(4)、磁铁基座(5)、靶座(6)、轴座(7)、偏心轴(9)和轴承座(10)，所述无氧铜板(3)固定在靶座(6)内侧，ITO靶材(2)焊接固定在无氧铜板(3)内侧，磁铁基座(5)设置于靶座(6)内，与无氧铜板(3)平排布置，永久磁铁(4)固定在磁铁基座(5)内侧，轴承座(10)固定在磁铁基座(5)外侧，轴承(11)置于轴承座(10)内，轴座(7)固定在靶座(6)外侧，偏心轴(9)内端通过轴承(11)偏心连接于轴承座(10)内，中间穿置于轴座(7)。本实用新型靶材刻蚀的中心沟部被拉宽，靶材利用率达到了60％～70％，是原来的3倍。 | ||
| 申请公布号 | CN200981848Y | 申请公布日期 | 2007.11.28 |
| 申请号 | CN200620126297.7 | 申请日期 | 2006.10.20 |
| 申请人 | 江阴瑞兴塑料玻璃制品有限公司 | 发明人 | 朱春光;朱泉兴 |
| 分类号 | C03C17/23(2006.01);C23C14/35(2006.01) | 主分类号 | C03C17/23(2006.01) |
| 代理机构 | 江阴市同盛专利事务所 | 代理人 | 唐纫兰 |
| 主权项 | 权利要求书1、一种ITO镀膜玻璃偏心轴旋转的平面磁控溅射装置，其特征在于：它包括：ITO靶材(2)、无氧铜板(3)、永久磁铁(4)、磁铁基座(5)、靶座(6)、轴座(7)、偏心轴(9)和轴承座(10)，所述无氧铜板(3)固定在靶座(6)内侧，ITO靶材(2)焊接固定在无氧铜板(3)内侧，磁铁基座(5)设置于靶座(6)内，与无氧铜板(3)平排布置，永久磁铁(4)固定在磁铁基座(5)内侧，轴承座(10)固定在磁铁基座(5)外侧，轴承(11)置于轴承座(10)内，轴座(7)固定在靶座(6)外侧，偏心轴(9)内端通过轴承(11)偏心连接于轴承座(10)内，中间穿置于轴座(7)。 | ||
| 地址 | 214401江苏省江阴市青阳镇工业园区圣杨路17号 | ||