一种基于超声光栅的共面度测量系统

摘要

本实用新型公开了一种基于超声光栅的共面度测量系统，包括激光光源、信号发生器、激光扩束系统、声光介质容纳器、超声换能器、计算机、三轴移动平台、光学平台和CCD摄像机，所述激光光源、信号发生器、激光扩束系统、声光介质容纳器以及三轴移动平台均安装在所述光学平台上；激光光源、激光扩束系统和声光介质容纳器按照从前到后的顺序依次设置在所述光学平台上；声光介质容纳器的左侧设置所述超声换能器，所述声光介质容纳器的右侧设置有反射面，以用于反射超声波；所述三轴移动平台用于放置待测物体，并且其与待测物体接触的平面作为参考平面。本实用新型采用超声光栅的技术，使得测量面积、精度和速度都有提高，能满足高精度快速测量要求。

主权项

一种基于超声光栅的共面度测量系统，其特征在于：包括激光光源、信号发生器、激光扩束系统、声光介质容纳器、超声换能器、计算机、三轴移动平台、光学平台和CCD摄像机，其中，所述激光光源、信号发生器、激光扩束系统、声光介质容纳器以及三轴移动平台均安装在所述光学平台上；所述激光光源、激光扩束系统和声光介质容纳器按照从前到后的顺序依次设置在所述光学平台上，以使所述激光光源发射的激光经过所述激光扩束系统扩束后穿过所述声光介质容纳器内的声光介质；所述声光介质容纳器的左侧设置所述超声换能器，所述声光介质容纳器的右侧设置有反射面，以用于反射超声波；所述三轴移动平台用于放置待测物体，并且其与待测物体接触的平面作为参考平面；所述计算机基于CCD摄像机捕捉到的条纹图案得到待测物体表面的高度值。