一种双臂自动装片式溅射镀膜装置

摘要

本实用新型涉及真空薄膜技术领域，具体涉及一种双臂自动装片式溅射镀膜装置，其特征在于：在所述真空镀膜室内设置一旋转机构，所述旋转机构连接于所述基片架的旋转中心，所述旋转机构驱动所述基片架在所述真空镀膜室内旋转；将所述进、出片室设置于所述真空镀膜室的同侧，且所述进、出片口分别对准所述基片架上相邻的两个所述工位，在所述进、出片室内分别设置上、下片输送机构。本实用新型的优点是：1)可实现同时上片和下片的功能，大大提高了生产效率。2)具有结构紧凑、占地面积小、运营成本低的优点。3）可实现在同一个镀膜流程中镀制多种功能性薄膜的需要。

主权项

一种双臂自动装片式溅射镀膜装置，包括真空镀膜室、进片室、出片室，所述进、出片室分别连接于所述真空镀膜室，且所述进、出片室的内腔与所述真空镀膜室的内腔连通，所述进、出片室与真空镀膜室的连通处分别为进、出片口，所述真空镀膜室室内设置有基片架，所述基片架具有若干承载所述基片的工位，其特征在于：所述真空镀膜室内设置有一旋转机构，所述旋转机构连接驱动所述基片架；所述进、出片室分别设置于所述真空镀膜室的同侧，且所述进、出片口分别对准所述基片架上相邻的两个所述工位，所述进、出片室内分别设置上、下片输送机构。