| 摘要 |
交流磁場が存在する空間を走査することで、当該空間の磁気プロファイルや交流磁場発生デバイスの磁気プロファイルを測定する。先端に探針が取り付けられたカンチレバー１１と、カンチレバーの共振周波数ないし共振周波数に近い周波数で励振する励振器１２と、探針の振動を検出する振動センサー１３と、探針の位置の交流磁場に対応する磁気信号を復調するとともに、復調した磁気信号を位相が９０?異なる、互いに直交した２つの信号成分に分離する復調処理装置１４と、探針により前記交流磁場が存在する空間を走査する走査機構１５と、互いに直交した２つの信号成分を、初期位相のまま初期データとして記憶するデータ記憶装置と、データ記憶装置に記憶した、初期データを呼び出し、当該初期データの位相を変更したデータを複数生成する変更データ生成器と、磁場分布画像を表示する画像表示装置とを備えたことを特徴とする。 |
