发明名称 微纳米散斑的制备方法和系统
摘要 本发明提出一种微纳米散斑的制备方法和系统,其中,该方法包括以下步骤:生成预设数量的散斑颗粒大小和/或散斑数目不同的数字散斑图,并从中选取至少一幅数字散斑图作为散斑模板;对待处理试件和目标试件的待处理区域进行预处理;将散斑模板导入散斑沉积设备;对待处理试件的待处理区域进行对焦,以获取当前放大倍数下的最优参数组;根据最优参数组调节散斑沉积设备,并根据散斑模板在目标试件的待处理区域沉积散斑。上述方法能够制备高质量微纳米散斑,提升散斑制备的可重复性、无损性和制备速度。
申请公布号 CN103808440A 申请公布日期 2014.05.21
申请号 CN201410054817.7 申请日期 2014.02.18
申请人 清华大学 发明人 谢惠民;朱荣华;吴丹
分类号 G01L1/24(2006.01)I;G01B11/16(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I 主分类号 G01L1/24(2006.01)I
代理机构 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 代理人 张大威
主权项 一种微纳米散斑的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:生成预设数量的散斑颗粒大小和/或散斑数目不同的数字散斑图,并从中选取至少一幅所述数字散斑图作为散斑模板,其中,所述数字散斑图为二值图;对待处理试件和目标试件的待处理区域进行预处理,其中,所述目标试件与所述待处理试件的材质相同;将所述散斑模板导入散斑沉积设备;对所述待处理试件的待处理区域进行对焦,以获取当前放大倍数下的最优参数组;根据所述最优参数组调节所述散斑沉积设备,并根据所述散斑模板在所述目标试件的待处理区域沉积散斑。
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