表面电浆共振量测装置

摘要

本发明之表面电浆共振量测装置，包含一旋光外差光源，旋光外差光源产生一旋光外差光束，一分光元件分化旋光外差光束为一参考光束与一讯号光束，一第一光感测结构感测参考光束之一参考光强度，表面电浆共振感测器接收讯号光束并反射一反射讯号光束，一第二光感测结构接收反射讯号光束之一反射光强度，一运算电路计算参考光强度与反射光强度之相位差。藉由旋光外差光束可高灵敏地反映出入射光经表面电浆共振后所引起的相位变化，如此可提升量测待测物微小物理量的变化之便利性。