| 发明名称 | 保持工作台 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种保持工作台，在对所保持的工件实施加工或处理时，能够抑制由摩擦引起的静电产生，使电荷不易积存于工件，减小带电量，抑制静电破坏。该保持工作台构成为具有：工件支承部(40)，其具有用多孔质体构成的吸附部(42)和用具有绝缘性的部件形成的框体(41)吸附部(42)向支承工件(1)的支承面(421)传递负压；将工件支承部支承成能够旋转的旋转支承部(50)；形成于旋转支承部与工件支承部之间的轻量化空间(43)；以及使吸附部与产生负压的负压源(80)连通的抽吸路径(70A)，抽吸路径不与轻量化空间连通。能够使工件支承部变厚从而增大绝缘距离抑制带电，并且由于具有轻量化空间因而不会导致重量增加。 | ||
| 申请公布号 | CN102214550A | 申请公布日期 | 2011.10.12 |
| 申请号 | CN201110090406.X | 申请日期 | 2011.04.11 |
| 申请人 | 株式会社迪思科 | 发明人 | 新田秀次;鸟饲刚史;瓜田直功;山中辅;根岸克治 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;H01L21/301(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人 | 党晓林;王小东 |
| 主权项 | 一种保持工作台，其是向工件的背面传递负压来进行吸附保持的保持工作台，其特征在于，该保持工作台具有：工件支承部，所述工件支承部具有向支承工件的支承面传递负压的吸附部，且该工件支承部由具有绝缘性的部件形成；旋转支承部，所述旋转支承部将该工件支承部支承成能够旋转；轻量化空间，所述轻量化空间形成于所述旋转支承部与所述工件支承部之间；以及抽吸路径，所述抽吸路径使所述吸附部与产生负压的负压源连通，所述抽吸路径不与所述轻量化空间连通。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||