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发明名称 METHOD FOR AUTOMATIC ADJUSTMENT OF FOCUS AND LIGHTING AND FOR OBJECTIVATED SCANNING OF EDGE SITE IN OPTICAL PRECISION MEASURING TECHNIQUE
摘要
申请公布号 EP1379835(B9) 申请公布日期 2011.03.02
申请号 EP20020747265 申请日期 2002.04.09
申请人 CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH 发明人 NEHSE, UWE;LINSS, GERHARD;KUEHN, OLAF
分类号 G01C3/32;G01B11/02;G01C11/02;H04N5/232 主分类号 G01C3/32
代理机构 代理人
主权项
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