Sondenaufnahme zur Halterung einer Sonde zur Prüfung von Halbleiterbauelementen, Sondenhalterarm und Prüfvorrichtung

摘要

Die Erfindung betrifft eine Sondenaufnahme zur Halterung einer Sonde zur Prüfung von Halbleiterbauelementen, einen Sondenhalterarm und eine Prüfvorrichtung. Die Aufgabe der Erfindung, eine Sondenaufnahme anzugeben, die eine reproduzierbare Anordnung einer Sondennadel ermöglicht, eine sichere Kontaktierung der Sondennadel und auch bei hohen Temperaturen oder Probekräften ein sicheres Festhalten der Sondennadel gewährleistet, wird gelöst durch eineung von Halbleiterbauelementen mit einer Sondennadel und einem im Wesentlichen prismatischen Sondenschaft umfasst einen Sockel mit einer zur Aufnahme eines prismatischen Sondenschafts ausgebildeten, von einer Sockelwand umgebenen Fassungsöffnung und ist dadurch gekennzeichnet, dass die Sockelwand aus mindestens zwei aufeinander zu bewegbaren Sockelwandsegmenten besteht. Die Aufgabe wird gleichfalls gelöst durch einen Sondenhalterarm zur Halterung einer Sonde in einer Prüfvorrichtung zur Prüfung von Halbleiterbauelementen, der eine Sondenaufnahme der oben beschriebenen Art aufweist, sowie durch eine Prüfvorrichtung zur Prüfung von Halbleiterbauelementen mit mindestens einer Sonde, die eine Sondenaufnahme der oben beschriebenen Art aufweist.