| 摘要 |
以避免测定时间增加、检查装置大型化及高成本化而可确实地检测出配线图案的良莠与否为课题，若在TAB带T的里面侧配设经镜面加工的滚筒32而从表面侧照射照明光的话，因为于透光性绝缘膜60部份所穿透的光会成为被滚筒32所反射的间接穿透光，而穿透透光性绝缘膜60回到表面侧，故如此以反射法为主、穿透法为辅，藉由于TAB带T的里面侧配设滚筒32而从表面侧照射照明光，并于表面侧拍摄检查位置D之配线图案影像，即可活用反射法的优点而判定配线图案61的良莠与否，并且，反射法难以检测出的位于透光性绝缘膜60上之短路相关缺陷，亦可藉着利用间接穿透光连同比透光性绝缘膜60更暗的暗缺陷一并同时检测出。 |
