发明名称 PLURALITY OF VACUUM GENERATION UNITS
摘要
申请公布号 KR100580900(B1) 申请公布日期 2006.05.17
申请号 KR20027010596 申请日期 2002.08.14
申请人 发明人
分类号 F04F5/46 主分类号 F04F5/46
代理机构 代理人
主权项
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