圆锥流体动力轴承ECM开槽的自动机器控制间隙

摘要

在本发明的一个方面中，电极与工件之间形成的间隙响应电解液入流的压力而自动调节。提供一种用于对工件进行ECM开槽的设备，该设备包括一受重力或偏压的电极(416)，该电极安装成响应电解液入流而自动调节电极与工件之间的间隙，且保持电流强度恒定不变。双圆锥或单圆锥工件的阴部支承在一框架或台板上，且圆锥开口面向我们标示为Z轴的一轴线。设置一滑动电极组件(416)，并较佳的是沿着与圆锥工件的中心轴线一致的一轴线工作。电极组件包括一支承电极组件的运动件的静止件和包括一受到已知质量块加重或偏压且可沿Z轴运动的电极的一运动件。该电极在将横跨离开工件(428)的一加工间隙(420)对齐的表面上具有一要形成在工件上的凹槽图案；该图案包括导电元件，以可形成在工件与电极之间的所需电流。当电解液以恒定的静压被泵送入或穿过工件与运动电极之间的加工间隙时，运动电极通过朝向或离开工件移动来对该压力作出反应，以形成某一间隙宽度，从而产生所需的凹槽深度和形状。因为电极和运动支承件响应所泵送电解液的恒定静压而移动，所以作用在电极滑动组件(416)上的力就是形成加工间隙的主要控制因素。

主权项

1.一种用于在流体动力轴承中所用的圆锥轴承的表面中电化学蚀刻凹槽的设备，该设备包括：一框架，用于保持圆锥绕一轴线并面向沿着该轴线可动的一可动电极，该电极轴向可动，并具有一个带有要固定在圆锥内表面上的一凹槽图案的表面，一电解液源，它被以一固定静压下的流量在可动电极的表面与圆锥内表面之间进行泵送，以及一静止夹具，用以支承电极，使其能以最小的摩擦限制朝向和离开圆锥的内表面移动；还有一力，将电极表面偏压向圆锥的内表面，以使电极穿过其在圆锥内表面与电极表面之间流动的间隙主要由电解液的静压流量和电极朝向圆锥内表面的力偏压来确定。