| 主权项 |
1.一种光开关,系具备:底构件、平面波导路,其形成于前述底构件上、可动构件,其单架支持于前述底构件,并藉由变形可改变其前端部之前述平面波导路的面方向位置、反射镜,其形成于前述可动构件的前端部、及驱动手段,其使前述可动构件变形并藉由改变前述反射镜相对于前述平面波导路的位置,以改变前述平面波导路中的光线行进方向。2.如申请专利范围第1项之光开关,其中前述驱动手段具有:主电极,其与前述可动构件相对而设置;及产生静电力之手段,其系在前述主电极与前述可动构件间产生静电力者。3.如申请专利范围第2项之光开关,其中前述主电极之设定,系可从前端部朝基端侧缩小与前述可动构件的间距。4.如申请专利范围第3项之光开关,其中在前述可动构件,设置具有复数齿梳之第一齿梳部;在前述主电极中与前述第一齿梳部相对之部位,设置可插入前述第一齿梳部的各齿梳间之具有复数齿梳的第二齿梳部。5.如申请专利范围第4项之光开关,其中在前述可动构件的前端部,设置齿梳支持部,并在前述齿梳支持部设置前述第一齿梳部。6.如申请专利范围第4项之光开关,其中为了使前述第一齿梳部的各齿梳前端与前述第二齿梳部的各齿梳基端的间距从前述主电极基端侧朝前端侧扩大,而使前述第二齿梳部的各齿梳长度不同。7.如申请专利范围第2至第6项中任一项之光开关,其中前述驱动手段具有:返回用电极,其配置于与前述可动构件之前述主电极的相反侧;及产生静电力手段,其系在前述返回用电极与前述可动构件间产生静电力者。8.如申请专利范围第7项之光开关,其中更具备定位手段,可在将通过前述光程上之光线予以阻断的第一位置与使通过前述光程上之光线通过的第二位置,各固持前述反射镜之位置。9.如申请专利范围第8项之光开关,其中前述定位手段具有:定位用可动部,其配置于前述反射镜的前侧,具备用以将前述反射镜固持于前述第一位置的第一突起及将前述反射镜固持于前述第二位置的第二突起;定位用驱动部,使前述定位用可动部朝前述可动构件的延伸方向移动;及固持用凹部,其设于前述可动构件的前端部,可插入前述第一突起和前述第二突起。10.如申请专利范围第8项之光开关,其中前述定位手段具有弹簧构件,其配置于前述反射镜前侧,具备抵接于前述可动构件前端且可施力至前述可动构件侧的弹力。11.如申请专利范围第8项之光开关,其中前述定位手段具有:定位用可动部,其配置于前述反射镜前侧;定位用电极,其与前述定位用可动部相对而配置;第一固持用切口部,其设于前述可动构件前端部,可扣止前述定位用可动部以将前述反射镜固持在前述第一位置;及第二固持用切口部,其设于前述可动构件前端部,可扣止前述定位用可动部以将前述反射镜固持在前述第二位置。12.如申请专利范围第8至第11项中任一项之光开关,其中前述可动构件的构成系在一般状态下,前述反射镜可将通过前述光程上之光线阻断。13.如申请专利范围第12项之光开关,其中前述平面波导路具有:敷层去除部,其系用以避开磁心周围而去除敷层所形成者;及缺口部,其系伴随前述敷层去除部而设于前述光程路上,用以放入前述反射镜者;前述可动构件系设在前述敷层去除部。14.如申请专利范围第13项之光开关,其中前述敷层去除部,系藉由反应性离子蚀刻将前述敷层去除所形成者。15.如申请专利范围第14项之光开关,其中前述可动构件及前述反射镜,系由相同材料一体成形。16.如申请专利范围第15项之光开关,其中前述可动构件及前述反射镜系包含矽。17.如申请专利范围第13至第16项中任一项之光开关,其中包含前述可动构件及前述反射镜之反射镜装置,系与前述平面波导路相接合。18.如申请专利范围第17项之光开关,其中在前述平面波导路及前述反射镜装置之一方设置定位用凸部,在前述平面波导路及前述反射镜装置之另一方,设置与前述定位用凸部相嵌和之定位用凹部。19.如申请专利范围第18项之光开关,其中前述平面波导路与前述反射镜装置,系阳极接合。20.如申请专利范围第19项之光开关,其中前述平面波导路的基板,系包含含有矽或硷性金属离子之玻璃。21.一种光开关阵列,其系将如申请专利范围第1至第20项中任一项之光开关复数个配置于同一底构件上。22.如申请专利范围第21项之光开关阵列,其中各光开关之分布距离,系500m以下。图式简单说明:图1为本发明之光开关的第一实施形态概略图;图2为其II-II线剖面图。图3A、图3B为图1之光开关中反射镜装置与平面波导路的模式图。图4A至图4F为图3之反射镜装置的制程图之一例。图5A至图5D为图3之平面波导路的制程图之一例。图6为应用图1所示光开关之光开关阵列的概略图。图7为本发明之光开关的第二实施形态概略图。图8A、图8B为本发明之光开关之第三实施形态中位置固持机构及反射镜装置的替换动作图。图9A、图9B为第三实施形态之光开关的变形例图。图10为本发明之光开关之第4实施形态中位置固持机构图;图11A~图11C为该位置固持机构之反射镜位置的替换动作图。图12至图16分别为本发明之光开关之其他实施形态中可动构件及电极图。图17A、图17B为本发明之光开关之其他实施形态中可动构件及电极的动作状态图。图18为本发明之光开关的其他实施形态图。 |
