发明名称 Vorrichtung zum Behandeln eines bandförmigen Substrates mit einem Gas
摘要 Eine Behandlungsvorrichtung (2) zum Behandeln eines bandförmigen Substrates (1) mit einem Gas hat eine Gasquelle (5) für das Gas. Um die Gasquelle (5) herum ist als Musterträger ein endloses Musterband (7) über mehrere Umlenkwalzen (8, 9, 10, 11) umlaufend geführt. Das Musterband (7) besteht aus einer Siebfolie, welche zur Erzeugung von nicht mit dem Gas zu behandelnden Bereichen des Substrates (1) mit einer Abdeckung (14) versehen ist.
申请公布号 DE19901088(A1) 申请公布日期 2000.07.20
申请号 DE19991001088 申请日期 1999.01.14
申请人 LEYBOLD SYSTEMS GMBH 发明人 ELLER, DETLEF
分类号 B05D1/26;B05C1/00;C23C14/04;C23C14/24;C23C14/56;H01L21/20;(IPC1-7):C23C14/24 主分类号 B05D1/26
代理机构 代理人
主权项
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