| 发明名称 |
D/A CONVERTER CIRCUIT, ITS CORRECTION CODE DECISION METHOD, CHARGE PARTICLE BEAM EXPOSURE METHOD AND DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10290162(A) |
申请公布日期 |
1998.10.27 |
| 申请号 |
JP19970095454 |
申请日期 |
1997.04.14 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD;ADVANTEST CORP |
发明人 |
NASUNO HIDEKI;SATO TAKAMASA;YAHARA HIDEFUMI;TAKAHASHI HIROYUKI |
| 分类号 |
G21K5/04;G03F7/20;H01L21/027;H03M1/10;(IPC1-7):H03M1/10 |
主分类号 |
G21K5/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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