发明名称 HYBRID HEAT DETECTOR STRUCTURE AND PREPARATION THEREOF
摘要
申请公布号 JPH08304173(A) 申请公布日期 1996.11.22
申请号 JP19960109792 申请日期 1996.04.30
申请人 TEXAS INSTR INC <TI> 发明人 HAWAADO AARU BERATAN;CHI CHIEN CHIYOU
分类号 G01J1/02;G01J5/10;H01L27/14;H01L27/146;H01L27/16;(IPC1-7):G01J1/02 主分类号 G01J1/02
代理机构 代理人
主权项
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