发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05234964(A) 申请公布日期 1993.09.10
申请号 JP19920039120 申请日期 1992.02.26
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 OKUDA YOSHIMITSU
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
地址