发明名称 RECIRCULATING COMPACT CLEAN ROOM
摘要
申请公布号 JPH04354545(A) 申请公布日期 1992.12.08
申请号 JP19910126222 申请日期 1991.05.29
申请人 TOMOKAGE HAJIME;KASHIMA NORIO;NAGAOKA KUNJI;IRIE TOSHIAKI;EZAKI YUKIO;SHINOZAKI KAZUO;SHIMODAIRA AKIYOSHI;HIGASHIHATA KUNIO;TORITANI TETSUHIRO;MOTONAGA YUKIHIDE;TAKASE HIROYUKI 发明人 TOMOKAGE HAJIME
分类号 B01L1/04 主分类号 B01L1/04
代理机构 代理人
主权项
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