发明名称
摘要
申请公布号 JPH02112327(U) 申请公布日期 1990.09.07
申请号 JP19890019188U 申请日期 1989.02.20
申请人 发明人
分类号 B01J7/00;B01J4/02;B01J7/02;C23C16/44;C23C16/448;C23C16/455;H01L21/31;(IPC1-7):B01J7/00 主分类号 B01J7/00
代理机构 代理人
主权项
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