发明名称 PRODUCTION OF THIN METALLIC FILM
摘要
申请公布号 JPS6465254(A) 申请公布日期 1989.03.10
申请号 JP19870223487 申请日期 1987.09.07
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TOMA KIYOKAZU;SUGITA RYUJI;HONDA KAZUYOSHI;NANBU TARO
分类号 C23C14/20;C23C14/24;C23C14/56;C23C14/58 主分类号 C23C14/20
代理机构 代理人
主权项
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