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发明名称 FOCUSING AND DEFLECTING SYSTEM OF AN ELECTRON LITOGRAPH
摘要
申请公布号 CS257079(B1) 申请公布日期 1988.04.15
申请号 CS19860006450 申请日期 1986.09.05
申请人 DELONG,ARMIN,CS;KOLARIK,VLADIMIR,CS;LENCOVA,BOHUMILA,CS 发明人 DELONG,ARMIN,CS;KOLARIK,VLADIMIR,CS;LENCOVA,BOHUMILA,CS
分类号 H01J37/147;(IPC1-7):H01J37/147 主分类号 H01J37/147
代理机构 代理人
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