| 发明名称 |
DISPOSITIVO PER LA DEPOSIZIONE DI MATERIALE SEMICONDUTTORE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IT1063263(B) |
申请公布日期 |
1985.02.11 |
| 申请号 |
IT19760024542 |
申请日期 |
1976.06.22 |
| 申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
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| 分类号 |
C30B25/16;C23C16/46;G05F1/455;H01L21/205;H02M5/253;(IPC1-7):B01J/ |
主分类号 |
C30B25/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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