发明名称 VAPOR DEPOSITING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5855037(A) 申请公布日期 1983.04.01
申请号 JP19810151426 申请日期 1981.09.26
申请人 KONISHIROKU SHASHIN KOGYO KK 发明人 OOTA TATSUO;SHINDOU MASANARI
分类号 C23C14/24;B01J19/00 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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