适用于光阻中之UV可固化性粉末UV CURABLE POWDER SUITABLE FOR USE AS PHOTORESIST

摘要

本发明有关一种辐射可固化性粉末光阻组成物，其包含成份A聚合物、B具有不饱和基团之反应性化合物及C自由基感光起始剂，其中该粉末光阻组成物可溶于显影剂中，且其中该粉末光阻组成物具有介于40及120℃之间的Tg。