背接触电池和双面电池的金属化方法

摘要

本发明公开了一种背接触电池和双面电池的金属化方法，该背接触电池的金属化方法包括：S1、形成一PN结构，该PN结构包括第一导电类型衬底，和位于该第一导电类型衬底的背面中的第一导电类型掺杂区域以及位于凹槽表面中的第二导电类型掺杂区域；S2、在该PN结构的背面上沉积接触金属，该接触金属覆盖该第一导电类型掺杂区域、该第二导电类型掺杂区域以及该凹槽的侧壁；S3、在该接触金属上喷印或丝网印刷低温的导电浆料以形成导电金属；S4、蚀刻步骤S3所得到的结构的背面以去除未被该导电金属覆盖的接触金属。本发明的金属化方法采用了反向刻蚀的方式，将导电金属作为掩膜来保护无需刻蚀的部分，工艺简单，流程较少。

主权项

一种背接触电池的金属化方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、形成一PN结构，该PN结构包括第一导电类型衬底，该第一导电类型衬底的背面中包括凹槽，以及位于该第一导电类型衬底的背面中的第一导电类型掺杂区域以及位于该凹槽表面中的第二导电类型掺杂区域；S2、在该PN结构的背面上沉积接触金属，该接触金属覆盖该第一导电类型掺杂区域、该第二导电类型掺杂区域以及该凹槽的侧壁；S3、在该接触金属上喷印或丝网印刷导电浆料以形成导电金属，从该第一导电类型衬底的法线方向来看，该导电金属分别形成于与该第一导电类型掺杂区域相应的区域以及与该第二导电类型区域相应的区域上，其中该导电浆料为低温退火或者低温固化的导电浆料，低温为80℃‑650℃；S4、蚀刻步骤S3所得到的结构的背面以去除未被该导电金属覆盖的接触金属。