接合构造体

摘要

加热器10，系包括陶瓷构件12、加热器元件14、连接构件16、外部通电构件18。连接构件16，系使其从陶瓷构件12之中的孔12c之底面到达加热器元件14之而埋设之圆柱状的金属构件。连接构件16，直径D为3.5~5mm，与加热器元件14相接之圆形面与圆柱侧面之转角部分16b的曲率半径R为0.3~1.5mm，比率R/D为0.09~0.30。外部通电构件18，系透过接合层20而与连接构件16接合。藉由此陶瓷加热器10。可使接合强度较以往高，且可使陶瓷构件12之破损风险降低。

主权项

一种接合构造体，包括：包括晶圆载置面之陶瓷构件、沿着埋设于前述陶瓷构件之前述晶圆载置面之形状的埋设电极、在前述陶瓷构件中从前述晶圆载置面相反侧的面达到前述埋设电极而埋设之金属制的连接构件、透过接合层而接合于前述连接构件之中露出于外部的面之金属制的外部通电构件，其特征在于：前述连接构件为圆柱构件，直径D为3.5~5mm，与前述埋设电极相接之圆形面与圆柱侧面之转角部分的曲率半径R为0.3~1.5mm，比率R/D为0.09以上。